Unsere Expertise

Die EUV-Röhre der Laser nanoFab GmbH ist eine kompakte und benutzerfreundliche Extrem-Ultraviolett (EUV)-Quelle für die Metrologie. Die Quelle basiert auf fortschrittlicher Mikrofokus-Röntgenröhrentechnologie, die auf den EUV-Spektralbereich erweitert wurde. Die EUV-Emission wird durch die Kollision von Elektronen mit Festkörpertargets erzeugt. Dieses Konzept garantiert einen kontaminationsfreien Betrieb, gut definierte Leistungsmerkmale und eine ausgezeichnete zeitliche und räumliche Langzeitstabilität.