EUV Tube applicationEUV Tube

  • Microfocus EUV tube for at-wavelength reflectometry
  • Electron-based EUV source
  • Debris-free operation
  • Long-term stable, low fluctuations
  • EUV power of about 20µW (2π sr, 2% bw)
  • very low running costs
  • automatic start-up
  • computer-controlled

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